一种低温多晶硅制备方法及微波加热设备.其中，该低温多晶硅的制备方法包括:提供一基板;在所述基板的一侧形成非晶硅层;进行微波加热，将所述非晶硅层晶化为多晶硅层;其中，在所述基板的一侧形成非晶硅层之前，和/或，在所述基板的一侧形成非晶硅层之后以及在进行微波加热将所述非晶硅层晶化为多晶硅层之前，还包括:形成晶化---膜.本发明实施例提供的低温多晶硅制备方法和微波加热设备，胶体微波催化设备哪里有卖，可以解决常规多晶硅退火工艺晶化均一性低，工艺难度大，产品良率低的问题，胶体微波催化设备价格，使多晶硅制备温度有效降低，晶粒也均匀，同时，可以降---备工艺难度和设备成本，获得成本---，品质更高且良率更高的多晶硅产品.
液体加热装置.一种微波加热液体循环装置，包括微波腔体，电控箱和位于电控箱内部的微波源，微波腔体侧面设有液体循环机构，所述的液体循环机构包括有电动泵和输液管道，微波腔体与液体循环机构连通连接，乌鲁木齐胶体微波催化设备，输液管道上设有测温装置，微波腔体侧边设有液位计，以便观察腔体内的情况.本实用新型微波加热液体循环装置，采用在微波腔体侧边增设一液体循环机构，使得腔体内的液体在加热过程中流动，避免局部受热，能够有效提高加热效率，同时，在输液管道上设有测温计能够有效的控制加热温度，整个装置设计简单，合理，适用面广，胶体微波催化设备生产厂家，加热.
工业微波加热设备：包括冷却套，冷却液供液箱，循环泵，微槽群复合相片冷却装置和微波加热装置，所述微波加热装置由加热腔，磁控管微波发生器和微波传送波导构成，磁控管微波发生器安装在加热腔内部，且磁控管微波发生器上安装有微波传送波导，微波加热装置上的磁控管微波发生器上设有微槽群复合相片冷却装置和冷却套.该工业微波加热设备其上设置了由强制空冷助片群，远程微结构凝结器，蒸汽回流管，微槽群复合相变取热器，复合相变微槽群和凝结液回流管构成的微槽群复合相片冷却装置，其能够迅速的散去磁控管微波发生器在工作时产生的热.
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